塩害対策フィルタ

設備用語集

項目	塩害対策フィルタ　／　えんがいたいさくふぃるた
英語	salt removal air filter
意味	空気中に含有されている塩分粒子を除去する目的のフィルタ。半導体製造用クリーンルームの外気取入れ部に設置されることがある。