クリーンルーム

設備用語集

項目	クリーンルーム　／　くりーんるーむ
英語	clean room
意味	室内に存在する浮遊じんあい量を、極端に少ない値に管理している室。半導体や超精密機械の製作に欠かせない。清浄度は「クラス○○」と表現されて何段階かに分かれて規定されている。「無じん室」ともいう。