超高性能エアフィルタ

設備用語集

項目	超高性能エアフィルタ　／　ちょうこうせいのうえあふぃるた
英語	-
意味	DOP法効率が99.97%以上の非常に高性能なフィルタで、クリーンルームや放射性物質を扱う所で使われる。この中で標準的な性能のものは「ヘツパ（HEPA）フィルタ」と呼ばれる。より高性能なものに「ウルパ（ULPA）フィルタ」がある。