超純水

設備用語集

項目	超純水　／　ちょうじゅんすい
英語	ultra pure water
意味	蒸留およびイオン交換を行い、さらにメンブレンフィルタによるろ過などを行って生成した水。これ以外の方法による超純水製造装置もあり、特に原子力・火力発電、医薬、電子工業などの分野では不可欠である。