ファンフィルタユニット　

設備用語集

項目	ファンフィルタユニット　　／　ふぁんふぃるたゆにっと
英語	fan filter unit
意味	送風機とフィルタが一体として組み立てられた装置。一般に高性能フィルタと組み合わせ、クリーンルームの天井に設置される装置を呼ぶ。局所的な清浄度の向上や、大形クリーンルームの階高減少、動力減少を目的に採用される。