露光装置

設備用語集

項目	露光装置　／　ろこうそうち
英語	lithography
意味	半導体や液晶パネルの基板の作成などに用いられる、回路パターンなどをレーザー光で「現像」する装置。また、その過程。「フォトリソグラフィ」「ステッパー」とも呼ばれる。