超純水

電気用語集

項目	超純水　／　ちょうじゅんすい
英語	hyperpure water
意味	粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率（25℃）が15〜20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。